UT-300は、光学装置の代名詞ともいえるフランスのHORIBA JOBIN YVON社(HORIBAグループ)のPhase modulation systemを用いた
UV-visible分光エリプソメータに、HORIBAのメカトロニクス技術を融合させた全自動超薄膜計測システムです。半導体製造プロセスにおいて、今まで難しかった複合多層膜・超薄SiO
2膜の膜厚・ n ・ k の同時一括測定を可能にしました。高速性・操作性を徹底追求し、現場ニーズに対応したプロセス管理ソリューションを提供します。
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機械的振動のないPEM素子※を採用し、高速・高精度な測定を実現
HORIBA JOBIN YVON社の分光エリプソメータは、他社と違ってその原理にPEM素子を用いた位相変調方式を採用。外光の影響をほとんど受けないばかりか機械的振動もなく、高速・高精度な測定を実現します。
※フォトイラスティク・モジュレータ ： 光弾性変調素子
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1nmの超薄膜やフラッシュメモリ用の多層膜の膜厚測定が可能
190nmから830nm※(標準：240nm〜830nm)と短波長から長波長までの広範囲な波長域での膜厚測定・データ解析が行えます。
※オプション使用時
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100msの高速、しかも高感度に計測
フォトマルを使用した多波長同時測定ユニットにより、高感度で、最小測定時間100msという高速測定を可能にしました。
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・多波長同時測定ユニット
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最先端ニーズや最新の自動化ラインにも対応可能
DUV露光反射低減コートなど最先端ニーズに対応可能です。また工場内のLANやAGV、SMIFにもオプションのSECG/GEM通信機能で最新の自動化ラインにも対応します。
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12、8、6インチのウエハに対応
1台の装置で12、8インチのウエハに対応。6インチウエハ対応機種も別途用意しています。
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細かい設定とイージー・オペレーションが可能
設定モードでエンジニアによる細かい設定が可能です。また普段の操作には、個人の技術・経験にほとんど左右されないイージー・オペレーションを実現しています。
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複雑な複合多層膜を全自動で解析するソフトウエアを搭載
膜厚だけでなく、組成・均一性などの物質特性や光の屈折率などの光学定数を、全自動で計測・解析可能なソフトウエアを搭載しています。
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全自動測定点判定による連続測定を実現
高精度なパターン認識機能を搭載。全自動測定点判定による連続測定が可能です。
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