全自動超薄膜計測システム (膜厚測定)

操作画面/測定結果画面

●Job Set Up
エンジニアにより各ウェハポート(画面では4つ)に関する様々な測定レシピの設定が容易です。

●Cassette Trend Graph
グラフは横軸が1ロット25枚のウェハを、縦軸がその膜厚を示しており、膜厚管理値を青線と赤線で2段階設定できます。測定結果が管理値をオーバーすると赤色表示、管理値内なら緑色表示します。

●Current Wafer Map View
測定ポイントの結果をカラー表示します。
赤：膜厚管理値オーバー
緑：膜厚管理値内

●Measuring status
ウェハ測定状況をリアルタイムでビジュアル表示します。