PEM素子を用いた位相変調方式
分光エリプソとは、物質の表面で光が反射するときの偏光状態の変化(入射と反射)を観測し、そこから膜厚や材質など物質に関する情報を求める方法です。
UT-300は、位相変調方式の測定原理にPEM素子を用いた分光エリプソメータを採用しています。図のように直線偏光はPEMを通すことで50KHzの周波数に位相変調された楕円偏光になります。そのため、わずか数ミリ秒の分解能でΨ、Δを決定することができます。測定時間1msと短いのは、PEMの特性とその高い周波数によるものです。またcosΔに加え、sinΔを検出することができるのでΔの精度が優れています。このことから、機械的振動もなく高速・高精度な測定が可能になりました。
