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半導体システム
全自動超薄膜計測システム UT-300
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UT-300
仕様
PEM素子を用いた位相変調方式
システム構成例
操作画面/測定結果画面

HORIBA CHANNEL

全自動超薄膜計測システム (膜厚測定)

UT-300

システム構成例
300mm FOUPシングル
300mm FOUPダブル
全自動超薄膜計測システム 300mm FOUPシングル
全自動超薄膜計測システム 300mm FOUPダブル

200mm オープンカセット対応
 　
全自動超薄膜計測システム 200mm オープンカセット対応
 　


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